Zařízení pro povlakování vnitřních dutin malého příčného průřezu a velkých podélných rozměrů metodou magnetronového naprašování

0455635 - FZÚ 2016 RIV cze P - Patentový dokument
Rouček, V. - Bulíř, Jiří - Lančok, Ján - Novotný, Michal
Zařízení pro povlakování vnitřních dutin malého příčného průřezu a velkých podélných rozměrů metodou magnetronového naprašování.
[Apparatus for coating internal cavities of small cross section and large longitudinal dimensions using magnetron-sputtering method.]
2015. Vlastník: Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., Praha 8, CZ- TESLA Electrontubes s.r.o., Říčany, CZ. Datum udělení patentu: 02.12.2015. Číslo patentu: 305631
Grant CEP: GA TA ČR(CZ) TA03010490; GA MŠMT(CZ) LM2011029; GA MŠMT(CZ) LO1409
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: magnetron sputtering * cavities
Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
http://isdv.upv.cz/portal/pls/portal/portlets.pts.det?xprim=10053597&lan=cs&s_majs=&s_puvo=&s_naze=&s_anot=

Zařízení pro povlakování vnitřních dutin malého příčného průřezu a velkých podélných rozměrů metodou magnetronového naprašování je určeno k vytváření tenkých vrstev na vnitřních plochách výrobků s dutinami malých příčných průřezů. Zařízení je určeno k vytváření tenkých povlaků v dlouhých dutinách malých příčných rozměrů. Uplatní se pro úpravu součástek pro mikrovlnnou techniku, zdravotnictví, leteckou techniku, chemický průmysl, potravinářský průmysl a další obory.

Device for coating internal cavities of small cross section and large longitudinal dimensions by means of magnetron sputtering method is used for forming of thin films on the inner surfaces of cavities with small cross-sections.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0256260