Obecná metodika modelování vysokoteplotních technologických procesů metodou konečných prvků

0449867 - FZÚ 2016 RIV CZ cze L3 - Certifikované metodiky
Jirásek, Vít - Potocký, Štěpán - Sveshnikov, Alexey
Obecná metodika modelování vysokoteplotních technologických procesů metodou konečných prvků.
[General methodology for high temperature processes of semiconductor technology by the finite element methods.]
Interní kód: CM 2014-04 ; 2014
Technické parametry: Metodika umožňuje výrazně snížit počet ladících procesů při zprovozňování nových pecí u zákazníků. Umožňuje mnohem jednodušší nastavení procesních parametrů pro výrobu konkrétních vrstev na Si deskách
Ekonomické parametry: Díky této metodice dojde ke snížení náročnosti uvádění nových pecí do provozu, čímž dojde k redukci ceny těchto prací až o 3%.
Certifikační orgán: SVCS Process Innovation s.r.o., Optátova 37, Brno 637 00, Česká republika. Datum certifikace: 19.12.2014
Grant CEP: GA TA ČR TA01020972
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: CFD modelling * high temperature reactor * high temperature oxidation * phosphorus diffusion * boron diffusion * LPCVD * PECVD
Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

Byla vyvinuta obecná metodika modelování vysokoteplotních reaktorů vyráběných SVCS Process Innovation, s.r.o. metodou konečných prvků, resp. konečných objemů. Metodika zahrnuje principy práce se SW balíky pro multifyzikální CFD modelování se zřetelem na navzájem propojené procesy chemicky reagujícího proudění, transportu hmoty a tepla. Značná část je dále věnována vztahu model-experiment, verifikaci a validaci modelů a porovnání výpočtů s experimenty.

A general methodology for modeling of high-temperature reactors produced by SVCS Process Innovation, Ltd., using the finite element, resp. finite volume method, was developed. The methodology covers basics principles of working with SW packages for CFD modeling with the emphasis on the strongly coupled processes of chemically reacting fluid flow, mass and heat transport. An important part is devoted to the model-experiment relationship, verification and validation of models and comparison with experiments.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0251280