Hybridní plazmová tryska s povrchovou vlnou pro buzení vysoce reaktivních výbojů

0448124 - FZÚ 2016 RIV cze P1 - Užitný vzor, průmyslový vzor
Hubička, Zdeněk - Straňák, Vítězslav - Šmíd, Jiří - Olejníček, Jiří - Čada, Martin - Adámek, Petr - Kment, Štěpán - Kromka, Alexander
Hybridní plazmová tryska s povrchovou vlnou pro buzení vysoce reaktivních výbojů.
[Hybrid plasma nozzle with surface wave for exciting extremely reactive discharges.]
2015. Vlastník: Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Datum udělení vzoru: 14.07.2015. Číslo vzoru: 28463
Grant CEP: GA MŠMT LH12045; GA TA ČR TA03010743
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: sufatron * plasma technology * discharge plasma
Obor OECD: Fluids and plasma physics (including surface physics)
https://isdv.upv.cz/doc/FullFiles/UtilityModels/FullDocuments/FDUM0028/uv028463.pdf

Technické řešení spadá do oblasti generace nízkoteplotních plazmových výbojů za účelem jejich následného využití v technologických aplikacích. Jedná se zejména o depozice funkčních tenkých vrstev s využitím plazma chemických reakcí v aktivní zóně generovaného výboje. Oblast řešení je zaměřena na konstrukci plazmové trysky využívající pro buzení plazmatu povrchovou vlnu, která umožňuje generování výbojů s velkou koncentrací reaktivních plynů, např. O2, N2, H2, C2H2, CH4 a dalších, a to v širokém rozsahu tlaků.

Technical solutions belong to area of generation of low-temperature plasma discharges for technological application. It is namely thin film deposition using plasma-chemical reaction in active area of generated discharge. Solution is focused on construction of plasma nozzle using surface wave for plasma excitation that enables generation of discharges with high concentration of reactive gases like O2, N2, H2, C2H2, CH4 and others in a wide range of pressure.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0249847