Interferometrická sestava pro diferenční měření vzdálenosti

0438921 - ÚPT 2015 cze P - Patentový dokument
Lazar, Josef - Číp, Ondřej - Hrabina, Jan
Interferometrická sestava pro diferenční měření vzdálenosti.
[Interferometric assembly for differential measurement of distance.]
2014. Vlastník: Ústav přístrojové techniky Akademie věd ČR, v. v. i. Datum udělení patentu: 15.01.2014. Číslo patentu: 304317
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: interferometry * differential measurement * metrology
Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
http://spisy.upv.cz/Patents/FullDocuments/304/304317.pdf

Motivace k patentu vychází ze zaměření našeho projektu na interferometrické systémy pro měření polohy, přičemž cílem aplikací je souřadnicové odměřování. V metrologii a nanometrologii je souřadnicové odměřování kombinováno s požadavkem na maximální dosažitelnou přesnost. V souřadnicovém odměřování má diferenční měření svoji roli, právě jako jedna z cest k nejvyšší přesnosti. Předmětem patentu je optická konfigurace interferometrického systému pro měření délky v jedné optické ose, přičemž poloha je odměřována v diferenciálním uspořádání. Jde tedy o měření vůči referenční ploše, rovnoběžné s měřicí plochou. Interferometr je koncipován jako dvousvazkov,ý s kompenzací malých úhlových chyb prostřednictvím koutových odražečů v měřicím i referenčním svazku. Výhodou je společná měřicí osa jak referenčních, tak měřicích svazků, což napomáhá dodržení tzv. Abbého principu při souřadnicovém odměřování. Interferometr je kompaktní konfigurace, bez externího děliče svazku a umožňuje realizaci technologií spojování na optický kontakt.

The motivation of the this patent comes out of the orientation of this project to interferometric systems for measurement of length. The aim of the applications is coordinate measurement. In metrology and nanometrology the coordinate measurement is combined with the demand for the ultimate precision. Differential measurement plays a role in coordinate measurement as a one approach how to measure with the highest precision. The patent deals with an optical setup of an interferometric system for measurement of length in a single optical axis while the displacement is measured in a differential configuration. It means measurement with respect to the reference surface parallel to the measuring plane. The interferometer has a two-beam arrangement with compensation of small angle errors with the help of corner-cube reflectors in the measuring and reference beams. The advantage is a single measuring axis in the reference as well as in the measuring arm which helps to preserve the Abbe principle in coordinate measuring systems. The interferometer is compact, does not need an external beamsplitter and alows manufacturing through optical contacting.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0242273