Řídící a monitorovací software pro systém řízení depozice v plazmatu

0424554 - FZÚ 2014 RIV CZ cze L4 - Software
Adámek, Petr - Hubička, Zdeněk - Kment, Štěpán - Čada, Martin - Jastrabík, Lubomír
Řídící a monitorovací software pro systém řízení depozice v plazmatu.
[Control and monitoring software for plasma depositon control system.]
Interní kód: DPCSOFT/FZÚ/2013 ; 2013
Technické parametry: Program v reálném čase monitoruje a ukládá tlak, proud výboje a řídí držák vzorků, dle zadaného počtu vzorků, požadované době expozice jednotlivých vzorků. Může sledovat až osmi veličin.
Ekonomické parametry: Snížení pořizovacích nákladů na vývoj a nákup softwarového vybavení
Grant CEP: GA TA ČR TA01010517
Institucionální podpora: RVO:68378271
Klíčová slova: controlling software * plasma deposition * control system
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech

V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli programové vybavení určené pro automatizovaný systém pro monitorování a řízení procesu depozice tenkých vrstev v plazmatu.

Within the project TACR, we have developed software dedicated to automatic control system for monitoring and controlling of plasma deposition of thin films.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0232591