Způsob detekce interfernční fáze dvou interferujících laserových paprsků a zařízení pro provádění tohoto způsobu

0423601 - ÚPT 2014 RIV cze P - Patentový dokument
Řeřucha, Šimon - Číp, Ondřej - Šarbort, Martin - Lazar, Josef
Způsob detekce interfernční fáze dvou interferujících laserových paprsků a zařízení pro provádění tohoto způsobu.
[Method and apparatus for detection of interference phase of two interfering laser beams.]
2013. Vlastník: Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i. Datum udělení patentu: 02.10.2013. Číslo patentu: 304138
Grant CEP: GA MPO FR-TI2/705
Klíčová slova: laser * interferometry * nanometrology * optical metrology * displacement * inteference phase detection
Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery
http://spisy.upv.cz/Patents/FullDocuments/304/304138.pdf

Způsob detekce interferenční fáze dvou interferujících laserových paprsků využívá frekvenčně modulovatelného zdroje laserového záření a nově vyvinuté vyhodnocovací jednotky. Touto kombinací je možné určit interferenční fázi ze signálu, který je snímán pouze jednoduchým fotodetektorem, s přesností v řádu nanometrů, s možností snadno určit směr pohybu měřicího zrcadla a zároveň toto vyhodnocení provádět bez nutnosti použití dalších optických prvků či požadavků na zachování polarizace svazku. Výhodou nového způsobu jsou oproti stávajícímu stavu zmenšené nároky na mechanickou přesnost konstrukce vyhodnocovací jednotky, objem a cenu elektrooptických komponent a celkovou mechanickou robustnost výsledného měřicího systému. Zařízení obsahuje dvousvazkový laserový interferometr pro měření vzdáleností, zdroj laserového záření s frekvenčně modulovanou optickou frekvencí a fotodetektor, jehož vstup laserového světla leží na výstupu dvousvazkového laserového interferometru. Řídicí vstup zdroje laserového záření s frekvenčně modulovanou optickou frekvencí je spojen s prvním řídicím výstupem generátoru modulačního signálu a druhým vstupem vyhodnocovací jednotky, jejíž první vstup je spojen s výstupem fotodetektoru.

The new method for the detection of the interference phase of two interfering laser beams uses a frequency modulated source of laser radiation and en extensive computations. This combination provides the way to determine the interference phase that is sampled solely by single photodetector with nanometre precision; it also deterministically indicates the direction of the movable measurement mirror and does not pose a requirement to use additional optical components or polarizing optics. The improvement lies in reduced demands on the precision of mechanical construcstion, its overall robustness and the costs and volume of the optical components used.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0229716