Replika nové naprašovací aparatury s vylepšenou funkčností pro depozici B-DLC vrstev

0423138 - ÚPT 2014 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Fořt, Tomáš - Dupák, Libor - Sobota, Jaroslav - Neděla, Vilém - Kapounek, Petr - Dupák, Jan - Krejčí, J.
Replika nové naprašovací aparatury s vylepšenou funkčností pro depozici B-DLC vrstev.
[New replica of sputtering equipment with improved functionality for depositing B-DLC layers.]
Interní kód: APL-2013-13 ; 2013
Technické parametry: Aparatura s možností připojení více typů plynů a několika terčů s cílem vytvářet borem, popř. fluorem, dopované DLC vrstvy. Aparatura byla konstruována pro průmyslové použití.
Ekonomické parametry: Nová naprašovačka vyvinutá v rámci řešení grantu, která umožňuje nanášení DLC vrstev. Senzory opatřené těmito vrstvami by měly zvýšit obrat firmy o 10 000 EUR-ročně. Výsledek využije příjemce projektu. Kontakt: Ing. Vilém Neděla, PhD., vilem@isibrno.cz
Grant CEP: GA MPO FR-TI1/118
Klíčová slova: electrochemical sensors * DLC * B-DLC
Kód oboru RIV: JB - Senzory, čidla, měření a regulace

Byla dokončena replika nové naprašovací aparatury s možností připojení více typů plynů a několika terčů s cílem vytvářet borem, popř. fluorem, dopované DLC vrstvy. Aparatura byla konstruována pro průmyslové použití.

It was constructed a new replica of sputtering device with the ability to connect multiple types of gases and several targets in order to generate DLC layers donated with boron of fluor. New sputtering device was designed for industry application.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0229220