Nová naprašovací aparatura pro depozici B-DLC vrstev

0387557 - ÚPT 2013 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Fořt, Tomáš - Sobota, Jaroslav - Neděla, Vilém - Dupák, Libor - Kapounek, Petr - Dupák, Jan
Nová naprašovací aparatura pro depozici B-DLC vrstev.
[New sputtering equipment for depositing B-DLC layers.]
Interní kód: UPT 2012/22 ; 2012
Technické parametry: Byl realizován prototyp nová naprašovací aparatury s možností připojení více typů plynů a několika terčů s cílem vytvářet borem, popř. fluorem, dopované DLC vrstvy.
Ekonomické parametry: Prototyp realizovaný v rámci řešení grantu a mnohanásobně ověřený při výrobě senzorů. Předpokládá se průmyslové využití.
Grant CEP: GA MPO FR-TI1/118
Institucionální podpora: RVO:68081731
Klíčová slova: electrochemical sensors * DLC * B-DLC
Kód oboru RIV: JB - Senzory, čidla, měření a regulace

Byla dokončena nová naprašovací aparatura s možností připojení více typů plynů a několika terčů s cílem vytvářet borem, popř. fluorem, dopované DLC vrstvy.

It was constructed a new sputtering device with the ability to connect multiple types of gases and several targets in order to generate DLC layers donated with boron of fluor.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0216745