Interferometrické jednotky s kompenzací teplotních vlivů

0355884 - ÚPT 2011 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Lazar, Josef - Číp, Ondřej - Hrabina, Jan
Interferometrické jednotky s kompenzací teplotních vlivů.
[Interferometric units with compensation of thermal effects.]
Interní kód: 201002 ; 2010
Technické parametry: Funkční vzorek realizovaný v rámci řešení grantu: apertura 4 mm, rozlišení sub nm, pracovní vlnová délka 633 nm, 532 nm
Ekonomické parametry: Funkční vzorek využívaný příjemcem grantu s možností dalšího šíření.
Grant CEP: GA AV ČR KAN311610701; GA ČR GA102/09/1276
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: interferometry * nanometrology
Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery

Interferometrické jednotky jsou určeny pro provoz v nanometrologických aplikacích, pro odměřování malých vzdáleností s co nejvyšším rozlišením a přesností. Koncepce jednotek je založena na důsledné kompenzaci teplotních délkových změn v referenční a měřicí větvi a v referencování vztažného bodu vůči základně. Jednotky jsou vybaveny optovláknovým vstupem a integrovanou homodynní detekční soustavou.

Interferometric units are designed to operate in nanometrologic applications for measurement of small displacements with high resolution and overall precision. The design of units is based on careful compensation of thermal length dilatations in the reference and measuring arm and on referencing the unit towards the base. Units are equipped with fiberoptic input and integrated homodyne detection system.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0194553