Počet záznamů: 1
Polovodičový detektor pomalých elektronů prošlých vzorkem
- 1.0336638 - ÚPT 2010 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Müllerová, Ilona - Hovorka, Miloš - Klein, Pavel
Polovodičový detektor pomalých elektronů prošlých vzorkem.
[Semiconductor detector of slow electrons transmitted through the specimen.]
Interní kód: 5511-1 ; 2009
Technické parametry: Detektor velmi pomalých elektronů prošlých vzorkem se záběrem celé vyzařovací charakteristiky +-90 deg od normály povrchu, rozměr detektoru 5x5 mm, PIN struktura, 100% sběrová účinnost, zesílení až 3000x i při energii elektronů pod 1 eV.
Ekonomické parametry: Funkční vzor je možné zavést do každého rastrovacího mikroskopu se vzorkem na vysokém potenciálu a realizovat tak režim STEM s velmi nízkou energií.
Grant CEP: GA AV ČR IAA100650902
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: very low energy STEM * cathode lens
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
Polovodičový PIN detektor velmi pomalých prošlých elektronů v rastrovacím mikroskopu s katodovou čočkou, tj. vzorkem na vysokém záporném potenciálu. Detektor zachycuje celou vyzařovací charakteristiku prošlých elektronů urychlených z velmi nízké energie průchodu vzorkem na původní primární energii svazku v řádu keV polem mezi vzorkem a detektorem a tím zajišťuje absolutní sběrovou účinnost.
Semiconductor detector of the PIN type for detection of very slow transmitted electrons in a scanning microscope with the cathode lens, i.e. with the sample biased to a high negative potential. Detector acquires the complete angular distribution of the transmitted electrons accelerated from their very low energy of transmission through the sample to the original primary beam energy in the order of keV, namely by means of the electric field between the sample and detector, securing hence the absolute collection efficiency.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0180830
Počet záznamů: 1