Deposition of Nanostructured Diamond-Like Carbon Films in Dual Frequency Capacitive Discharge

0316631 - ÚPT 2009 RIV ES eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Buršíková, V. - Peřina, Vratislav - Sobota, Jaroslav - Klapetek, P. - Dvořák, P. - Stoica, A. - Buršík, Jiří - Franta, D.
Deposition of Nanostructured Diamond-Like Carbon Films in Dual Frequency Capacitive Discharge.
[Depozice nanostrukturovaných DLC povlaků v dvoufrekvenčním kapacitním výboji.]
19th Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of lonized Gases. Cordoba: European Physical Society, 2008, 304: 1-2. ISBN 2-914771-04-5.
[Europhysics Conference on the Atomic and Molecular Physics of lonized Gases /19./. Granada (ES), 15.07.2008-19.07.2008]
Grant CEP: GA ČR GA202/07/1669
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511; CEZ:AV0Z10480505; CEZ:AV0Z20410507
Klíčová slova: PECVD * DLC * mechanical properties
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech

The aim of the present work was to deposit nanostructured diamond-like carbon (NDLC) coatings with various admixtures (silicon, oxygen, nitrogen, tungsten etc.) on several different substrate materials (silicon, glass, polycarbonate and steel) in dual frequency capacitive r.f. discharges.

Cílem prezentované práce bylo deponovat nanostrukturované DLC povlaky dopované křemíkem, kyslíkem, dusíkem, wolframem atd. na různé podložky jako křemík, sklo, polykarboát a ocel. Povlaky byly naneseny v dvoufrekvenčních kapacitních vysokofrekvenčních výbojích.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0166494