Signal Collection with Secondary Electron Detectors in SEM

0315454 - ÚPT 2009 RIV CZ eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Konvalina, Ivo - Hovorka, Miloš - Dvořáková, Marie - Müllerová, Ilona
Signal Collection with Secondary Electron Detectors in SEM.
[Detekce signálu v rastrovacím elektronovém mikroskopu pomocí detektorů sekundárních elektronů.]
Proceedings of the 11th International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation. Brno: Institute of Scientific Instruments AS CR, v.v.i, 2008 - (Mika, F.), s. 61-64. ISBN 978-80-254-0905-3.
[International Seminar on Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation /11./. Skalský dvůr (CZ), 14.07.2008-18.07.2008]
Grant CEP: GA AV ČR KJB200650602
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: secondary electrons * collection efficiency * detectors * SEM
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

The collection of secondary electrons (SE) was studied for microscopes where the magnetic field penetrates to the specimen surface and for the arrangement with the specimen region free of magnetic field. Collection efficiency of secondary electron detectors varies with their energy and angular sensitivity connected with electrostatic and magnetic field distribution in the specimen region which influences the contrast of SE images. The trajectories of SE with regard to their energy, angular distributions are simulated and secondary electron detectors compared on the basis of calculated collection efficiency. For the verification of the simulated data the standard resolution-testing specimen with Au particles on a carbon substrate was used.

Detekce sekundárních elektronů byla studována v mikroskopech, kde magnetické pole objektivu proniká k povrchu vzorku a v uspořádání bez magnetického pole v oblasti vzorku. Sběrová účinnost detektorů sekundárních elektronů je závislá na jejich energiové a úhlové citlivosti, která je ovlivněná rozložením magnetických a elektrostatických polí v okolí vzorku. Byly provedeny simulace a vyhodnocení trajektorií sekundárních elektronů v závislosti na jejich energii a úhlovém rozložení. Na základě vypočtené sběrové účinnosti byly porovnány detektory sekundárních elektronů v daném uspořádání. Pro potvrzení simulací posloužil vzorek s částicemi zlata na uhlíku.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0165653