Study of highly-aggressive samples using the variable pressure SEM

0315083 - ÚPT 2009 RIV DE eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Neděla, Vilém - Runštuk, Jiří
Study of highly-aggressive samples using the variable pressure SEM.
[Studium vysoce agresivních vzorků pomocí EREM.]
EMC 2008 - 14th European Microscopy Congress - Volume 1: Instrumentation and Methods. Berlin: Springer, 2008 - (Luysberg, M.; Tillmann, K.; Weirich, T.), s. 589-590. ISBN 978-3-540-85154-7.
[EMC 2008 - European Microscopy Congress /14./. Aachen (DE), 01.09.2008-05.09.2008]
Grant CEP: GA AV ČR KJB200650602
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: VP-SEM * battery mass * aggressive samples
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

Unfortunately, the presence of high pressure environment together with vapours or aerosols released by beam bombardment from aggressive samples can damage of VP-SEM specimen chamber equipment. Above mentioned problems may by overcome by the use of a newly designed apparatus for the study of aggressive samples in VP-SEM.

Přítomnost vysokého tlaku plynů spolu s aerosoly uvolňovanými ze svazkem ozařovaných agresivních vzorků mohou bohužel zničit komoru vzorku EREM a její vybavení. Tyto problémy mohou být překonány pomocí nově navrženého zařízení pro studium agresivních vzorků v EREM.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0004854