Obrazy ze sekundárních elektronů v rastrovacich elektronových mikroskopech

0308565 - ÚPT 2008 RIV CZ cze J - Článek v odborném periodiku
Konvalina, Ivo - Müllerová, Ilona
Obrazy ze sekundárních elektronů v rastrovacich elektronových mikroskopech.
[Micrographs of secondary electrons in the scanning electron microscopes.]
Jemná mechanika a optika. Roč. 53, č. 2 (2008), s. 57-59. ISSN 0447-6441
Grant CEP: GA ČR GA102/05/2327
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: ET detector * secondary electrons * collection efficiency * electrostatic and magnetic field
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

Článek se zabývá výpočty sběrové účinnosti Everhartova-Thornleyho detektorů v různých rastrovacích elektronových mikroskopech. Na třech detekčních systémech je ukázán vliv rozložení magnetického a elektrostatického pole v komoře mikroskopu na trajektorie sekundárních elektronů, které ovlivňují výsledný obrazový kontrast

This article deals with the calculations of collection efficiency of the Everhart-Thornley detector in the different scanning electron microscopes. The effect of magnetic and electrostatic fields distribution in the chamber of microscope on the trajectories of the secondary electrons on the final image contrast is demonstrated for three detection systems.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0161002