Aplikace AFM v oblasti přípravy a studia nanostruktur

0205671 - UPT-D 20030053 RIV CZ cze J - Článek v odborném periodiku
Škoda, D. - Lopour, F. - Kalousek, R. - Burian, D. - Spousta, J. - Šikola, T. - Matějka, František
Aplikace AFM v oblasti přípravy a studia nanostruktur.
[Application of AFM in the area of nanostructures preparation and study.]
Československý časopis pro fyziku. Roč. 53, č. 2 (2003), s. 105 - 108. ISSN 0009-0700
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z2065902
Klíčová slova: electron lithography * nanotechnology * atomic force microscopy
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

V tomto příspěvku je popsáno využití mikroskopie založené na detekci atomárních sil (AFM) pro přípravu a pozorování nanostruktur vytvořených anodickou lokální oxidací na titanu. Je ukázáno, že v souladu s Cabrerovou-Mottovou teorií výška oxidových vrstev vytvořených pomocí AFM lineárně vzrůstá s napětím přiloženým mezi hrot a vzorek, zatímco rozměr pološířky tuto závislost nevykazuje. Dále je vynesena spojitost mezi výškou a pološířkou oxidových čar v závislosti na rychlosti pohybu hrotu po vzorku v průběhu oxidace. Rovněž je popsáno chování odporu tenkých vodivých kanálků vzhledem k jejich šířce.

In this contribution the use of microscopy based on the detection of atomic forces (AFM) for preparation and observation of nano-structures elaborated using anodic local oxidation on titanium is described. It has been shown, that in correspondence with the Cabrer-Mott's theory the height of the oxide layers elaborated using AFM grows linearly with the voltage applied between the point and a sample, while the size of half-width does not show such a dependence. The connection between the height and half-width of oxide lines in dependence on speed of the point movement on the sample during the course of oxidation has been also shown. The behaviour of resistence of thin conductive channels is also described in relation to their width.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0101284