Počet záznamů: 1
Acquisition of multi-dimensional image in the scanning electron microscope
- 1.0205506 - UPT-D 20020056 RIV CZ eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Horáček, Miroslav
Acquisition of multi-dimensional image in the scanning electron microscope.
Proceedings of the 8th international seminar, held in Skalský dvůr. Brno: Ústav přístrojové techniky Akademie věd České republiky, 2002 - (Frank, L.), s. 37 - 38. ISBN 80-238-8986-9.
[Recent trends in charged particle optics and surface physics instrumentation. Skalský dvůr (CZ), 08.07.2002-12.07.2002]
Grant CEP: GA ČR GA102/00/P001
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z2065902
Klíčová slova: signal electrons * angular distribution
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
The possibilities of acquisition of the energy spectrum of signal electrons or angular distribution for every point of the scanning matrix on the specimen in SEM were studied and suitable fast position sensitive detector was designed.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0101119
Počet záznamů: 1