Počet záznamů: 1
Modern Sensors Handbook
- 1.0098740 - FZÚ 2008 RIV GB eng M - Část monografie knihy
Tipek, A. - Ripka, P. - Hulicius, Eduard - Hospodková, Alice - Neužil, P.
New Technologies and Materials.
[Nové technologie a materiály.]
Modern Sensors Handbook. London: ISTE Ltd, 2007 - (Ripka, P.; Típek, A.), s. 477-511. ISBN 978-1-905209-66-8
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100521
Klíčová slova: new technologies * materials * MEMS
Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
The chapter 11 "New Technologies and Materials" in Modern Sensors Handbook deals with MEMS, silicon planar IC technology, deposition technologies, etching processes, and 3-D microfabrication techniques.
Kapitola 11 "Nové technologie a materiály" v monografii Modern Sensors Handbook pojednává o MEMS, planární technologii křemíku pro integrované obvody, technologiích depozice, procesech leptání a 3-D metodách mikrofabrikace.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0157568
Počet záznamů: 1