Úhlově citlivý detektor pomalých zpětně odražených elektronů

0096520 - ÚPT 2008 RIV CZ cze L - Prototyp, funkční vzorek
Mika, Filip
Úhlově citlivý detektor pomalých zpětně odražených elektronů.
[Angular sensitive detector of low energy electrons.]
Interní kód: 5532 ; 2006
Technické parametry: Polohově nastavitelný detekční systém na bázi krystalu YAG.
Ekonomické parametry: Nelze přesně stanovit.
Grant CEP: GA ČR GA102/05/2327
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: low energy electrons * scanning electron microscope
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

Polohově nastavitelný detektor, který využívá modifikované uspořádání s katodovou čočkou k detekci signálních elektronů opouštějících vzorek pod určitým emisním úhlem.

The detector with finely adjustable lateral position is, with cathode lens, used for detection of signál electrons with different emission angles.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0155869