Spatial coherence profilometry

0093193 - FZÚ 2008 RIV US eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Pavlíček, Pavel - Duan, Z. - Takeda, M.
Spatial coherence profilometry.
[Profilometrie s využitím prostorové koherence.]
Czech-Polish-Slovak conference on wave and quantum aspect of contemporary optics /15./. Bellingham: SPIE, 2007 - (Miler, M.; Senderáková, D.; Hrabovský, M.), 660916/1-660916/7. Proceedings of SPIE, 6609. ISBN 978-0-8194-6748-5. ISSN 0277-786X.
[Czech-Polish-Slovak Conference Wave and Quantum Aspects of Contemporary Optics /15./. Liberec (CZ), 11.09.2006-15.09.2006]
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100522
Klíčová slova: spatial coherence * interferometry * interferometer * rough surface * height profile * speckle pattern
Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery

Spatial coherence profilometry is a method for measurement of the geometrical form of objects. Usually a CCD camera is used as the detector at the output of the Michelson interferometer. Thus the described method provides a spatial coherence analogy to white-light interferometry which is based on temporal coherence. Unlike white-light interferometry, the described method does not require a broadband light source, the interferometer is illuminated by a monochromatic light source, usually a laser.

Profilometrie s využitím prostorové koherence je metoda pro měření geometrického tvaru předmětu. Tato metoda je analogie interference v bílém světle, kde se využívá časové koherence. Podobně jako při interferometrii v bílém světle se i v této metodě využívá Michelsonova interferometru, kde jedno zrcadlo je nahrazeno povrchem měřeného předmětu. Narozdíl od interferometrie v bílém světle se v popisované metodě užívá monochromatického zdroje světle (laseru). Aby se mohl efekt prostorové koherence využít pro měření, musí být zdroj světla plošný.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0153300