Parallel Acquisition of the Angular Distribution of BSE in SEM

0092206 - ÚPT 2008 RIV CZ eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Müllerová, Ilona - Frank, Luděk - Matsuda, K.
Parallel Acquisition of the Angular Distribution of BSE in SEM.
[Paralelní snímání úhlového rozložení zpětně odražených elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu.]
Proceedings of the 8th Multinational Congress on Microscopy. Prague: Czechoslovak Microscopy Society, 2007 - (Nebesářová, J.; Hozák, P.), s. 27-28. ISBN 978-80-239-9397-4.
[Multinational Congress on Microscopy /8./. Prague (CZ), 17.06.2007-21.06.2007]
Grant CEP: GA ČR GA102/05/2327
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: parallel acquisition * angular distribution * BSE * SEM
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

Principle, design, implementation and results of demonstration experiments are presented for an eight-channel parallel detector of backscattered electrons in the SEM, capable of distinguishing the polar angle of emission.

Je presentován princip, konstrukce, zavedení a výsledky demonstračních experimentů pro osmikanálový paralelní detektor zpětně odražených elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu, schopný rozlišovat polární úhly emise elektronů ze vzorku.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0152592