Signal Processing of Secondary Electron Images in SEM

0092205 - ÚPT 2008 RIV CZ eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Novák, Libor - Müllerová, Ilona
Signal Processing of Secondary Electron Images in SEM.
[Článek charakterizuje způsoby zavedení rastrovací verze LEEM do konvenčního SEM prostřednictvím vložení katodové čočky pod objektiv přístroje. Shrnuty jsou základní vlastnosti rastrovacího LEEMu.]
Proceedings of the 8th Multinational Congress on Microscopy. Prague: Czechoslovak Microscopy Society, 2007 - (Nebesářová, J.; Hozák, P.), s. 99-100. ISBN 978-80-239-9397-4.
[Multinational Congress on Microscopy /8./. Prague (CZ), 17.06.2007-21.06.2007]
Grant CEP: GA ČR GA102/05/2327
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: signal processing * secondary electron images * SEM
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

Procedure of signal processing in the Everhart-Thornley type of the secondary electron detector in the SEM is analyzed as regards signal statistics, detective quantum efficiency and transport and possible losses of information.

Proces zpracování signálu v detektoru sekundárních elektronů Everhart-Thornleyho typu v rastrovacím elektronovém mikroskopu je analyzován pokud jde o statistiku signálu, detekční kvantovou účinnost a přenos informace a její případné ztráty.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0152591