Microwave and hot filament chemical vapour deposition of diamond multilayers on Si and WC-Co substrates

0054689 - ÚPT 2007 RIV NL eng J - Článek v odborném periodiku
Kadlečíková, M. - Vojs, M. - Breza, J. - Veselý, M. - Frgala, Z. - Michalka, M. - Matějková, Jiřina - Vojačková, A. - Daniš, T. - Marton, M.
Microwave and hot filament chemical vapour deposition of diamond multilayers on Si and WC-Co substrates.
[Chemická depozice z plynné fáze využívající mikrovlnný výboj nebo žhavené vlákno diamantových multivrstev na Si a WC-Co substrátech.]
Microelectronics Journal. Roč. 38, č. 1 (2007), s. 20-23. ISSN 0026-2692. E-ISSN 1879-2391
Grant CEP: GA ČR(CZ) GA202/05/0607
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
Klíčová slova: chemical vapour deposition * nanocrystalline diamond * Raman spectroscopy * scanning electron microscopy
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Impakt faktor: 0.609, rok: 2007

A serious problem in the use of chemical-vapour-deposited polycrystalline diamond coatings in electronics, optics as well as in cutting tools is the high surface roughness. In our work, microcrystalline and nanocrystalline diamond films with a thickness of 0.5–5 .mu.m were deposited using microwave chemical vapour deposition (MW CVD), and with a thickness of 1–4 .mu.m by hot filament chemical vapour deposition (HF CVD). For both deposition technologies, we investigated the effect of a negative bias upon the formation of microcrystalline and nanocrystalline diamond multilayers. In the cases of smooth Si and relief WC–Co substrate surfaces, the multilayers were found to have a "cauliflower" look. The structure and composition of deposited layers were checked by scanning electron microscopy and Raman spectroscopy.

Závažným problémem použití polykrystalických diamantových povlaků připravených chemickou depozicí z plynné fáze (CVD) v elektronice, optice a na řezné nástroje představuje jejich povrchová drsnost. V naší práci byly připraveny vrstvy mikrokrystalického a nanokrystalického diamantu o tloušťkách 0.5–5 .mu.m pomocí mikrovlnné CVD (MW CVD) a o tloušťkách 1–4 .mu.m metodou žhaveného vlákna (HF CVD). V obou případech jsme zkoumali vliv záporného předpětí na tvorbu multivrstev mikro a nanokrystalického diamantu. V případě substrátů typu hladký křemík a reliéfních WC-Co byly obdrženy vrstvy "květákovité" podoby. Struktura a složení vrstev byly zkoumány rastrovací elektronovou mikroskopií a Ramanovskou spektroskopií.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0142666