Počet záznamů: 1  

Reliéfní struktury připravené pomocí elektronové litografie

  1. 1.
    0050997 - ÚPT 2007 cze K - Konferenční příspěvek (tuzemská konf.)
    Urbánek, Michal
    Reliéfní struktury připravené pomocí elektronové litografie.
    [Relief structures prepared by electron beam lithography.]
    PDS 2006 - Sborník prací doktorandů oboru Elektronová optika. Brno: ÚPT AV ČR, 2006, s. 51-54. ISBN 80-239-7957-4.
    [PDS 2006. Brno (CZ), 19.12.2006]
    Grant CEP: GA ČR GA102/05/2325
    Klíčová slova: electron beam lithography * AFM
    Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

    Text se zabývá využitím zařízení AFM PNI pro analýzu vzorků připravených především metodou elektronové litografie ale také současně analýzou vzorků připravených pomocí jiných metod (leštění, naprašování, rytí).

    The text is concerned on using AFM instrument for analysis of structures prepared by electron beam lithography and analysis of samples prepared by sputtering, polishing as well.
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0140999

     
     
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.