New BSE Detector for Low Voltage SEM

0050970 - ÚPT 2007 CZ eng K - Konferenční příspěvek (tuzemská konf.)
Wandrol, Petr - Autrata, Rudolf
New BSE Detector for Low Voltage SEM.
[Nový detektor zpětně odražených elektronů pro nízkonapěťový SEM.]
Mikroskopie 2006. Praha: Československá mikroskopická společnost, 2006, s. 45.
[Mikroskopie 2006. Nové Město na Moravě (CZ), 16.02.2006-17.02.2006]
Grant CEP: GA AV ČR KJB200650501
Klíčová slova: backscattered electrons * detector * low voltage SEM
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

This work deals with the description of the new scintillation detector of backscattered electrons for the low voltage scanning electron microscope.

Práce se zabývá popisem nového scintilačního detektoru zpětně odražených elektronů pro nízkonapěťový rastrovací elektronový mikroskop.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0140976