Vliv Everhart-Thornleyho detektoru na zobrazovaný signál

0050964 - ÚPT 2007 CZ cze K - Konferenční příspěvek (tuzemská konf.)
Novák, Libor - Müllerová, Ilona
Vliv Everhart-Thornleyho detektoru na zobrazovaný signál.
[Imaging properties of Everhart-Thornley detector.]
Mikroskopie 2006. Praha: Československá mikroskopická společnost, 2006, s. 24.
[Mikroskopie 2006. Nové Město na Moravě (CZ), 16.02.2006-17.02.2006]
Grant CEP: GA ČR GA102/04/2144
Klíčová slova: SEM * detection * Everhart-Thornley
Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

Práce se zabývá detekcí sekundárních elektronů v SEM pomocí Everhart-Thornleyho detektoru. Jsou zde shrnuty experimentální výsledky popisující vlastnosti signálu v jednotlivých částech E.-T. detektoru. Pomocí numerického modelu poskytujícího výstupní signál detektoru jsou porovnány různé detekční módy E.-T. detektoru.

The paper deals with the detection of secondary electrons in SEM by means of Everhart-Thornley type of detector. Experiment results showing signal properties in individual parts of the detector are presented. Different detection modes are compared using numerical simulation of the E.-T. detector.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0140971