Usage of a speckle correlation for object surface topography

0048056 - FZÚ 2011 RIV US eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Horváth, Pavel - Šmíd, Petr - Wagnerová, Petra - Hrabovský, Miroslav
Usage of a speckle correlation for object surface topography.
[Užití metody korelace polí koherenční zrnitosti pro topografii povrchu.]
ICO20: Optical Design and Fabrication. Bellingham: SPIE, 2006 - (Breckinridge, J.; Wang, Y.), 603421/1-603421/6. Proceedings of SPIE, 6034. ISBN 0-8194-6063-X. ISSN 0277-786X.
[Congress of the International Commission for Optics/20./ – ICO20: Optical Design and Fabrication. Chaungchun (CN), 21.08.2005-26.08.2005]
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100522
Klíčová slova: speckle pattern * correlation * non-contact measurement * topography
Kód oboru RIV: BH - Optika, masery a lasery

The paper demonstrates possibility of aplication of the method called speckle pattern correlation for toography of the object surface under investigation. Scanning speckle pattern originating from different points of the object surface illuminated with laser beam enables to get information on heigh profile of the object surface in these points. This is presented on the measurement of the slope of the object surface. The principle of the presented method is shortly described including necessary equations. A possible optical set-up for the measurement ofthe slope of the object under investigation including necessary equations. A possible optical set-up for the measurement of the slope of the object under investigation is designed and acquired results are presented in comparison with teoretic values.

Článek popisuje aplikaci metody korelace polí koherenční zrnitosti pro topografii povrchu zkoumaného předmětu. Snímání struktury koherenční zrnitosti generované v různých bodech osvětleného povrchu předmětu umožňuje získat informaci o výškovém profilu předmětu v těchto bodech. Tento postup je demonstrován na měření sklonu povrchu předmětu. V článku je stručně popsán princip měřicí metody a uvedeny nezbytné teoretické vztahy. Pro měření sklonu zkoumaného předmětu je navrženo vhodné experimentální uspořádání optické sestavy. Dosažené výsledky měření jsou pak prezentovány ve srovnání s teoretickými hodnotami.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0138787