Počet záznamů: 1
Deposition of Organosilicon Polymer Thin Films by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition
- 1.0047572 - ÚJF 2007 RIV CZ eng H - Konferenční sborník (tuzemská konf.)
Zajíčková, L. - Buršíková, V. - Sťahel, P. - Buršík, Jiří - Peřina, Vratislav - Macková, Anna - Dubroka, A.
Deposition of Organosilicon Polymer Thin Films by Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition.
[Depozice organosilikonových tenkých vrstev pomocí PECVD.]
Pardubice: Univerzita Pardubice, 2006. 4 s.
[International Conference of Solid State Chemistry /7./. Pardubice (CZ), 24.09.2006-29.09.2006]
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10480505; CEZ:AV0Z20410507
Klíčová slova: organosilicon polymers * PECVD * surface analyses
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
doplnit
doplnit
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0138433
Počet záznamů: 1