RF Magnetron Sputtered Ag-Sb-S Amorphous Thin Films

0047542 - ÚJF 2007 RIV CZ eng H - Konferenční sborník (tuzemská konf.)
Gutwirth, J. - Wágner, T. - Drašar, Č. - Beneš, L. - Vlček, M. - Hrdlička, M. - Frumar, M. - Schwarz, J. - Tichá, H. - Peřina, Vratislav
RF Magnetron Sputtered Ag-Sb-S Amorphous Thin Films.
[Amorfní tenké vrstvy Ag-Sb-S připravené radiofrekvenčním magnetronovým naprašováním.]
ČR: Peřina, 2006. 1 s. ISBN 80-01-03506-9.
[Symposium on Plasma Physics an Technology /22./. Praha (CZ), 26.06.2006-29.06.2006]
Grant CEP: GA ČR GA203/06/1368
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10480505
Klíčová slova: chalcogenides * RF magnetron sputtering * surface analyses
Kód oboru RIV: CF - Fyzikální chemie a teoretická chemie

Thin Ag-Sb-S films were prepared by RF magnetron sputtering as potential candidates for rewritable optical data storage films. There were prepared polycrystalline bulks of AgSbS2. Composition and homogeneity of these bulks were checked. Targets for RF magnetron sputtering were prepared from pulverized bulks by hot pressing technique. Targets were characterized the same way as bulks. Composition and homogeneity of prepared thin films were characterized by SEM-EDX and RBS/ERDA, amorphous/crystalline character was studied by XRD. Optical properties (spectral dependence of refractive index) were evaluated on basis of UV-Vis-NIR spectroscopy and variable angle spectral ellipsometry (VASE). Crystallization abilities were traced by thermal dependence of optical transmission of prepared thin films.

RF magnetronovým naprašováním byly připraveny Ag-Sb-S tenké vrstvy jako potenciální materiál pro optický záznam dat.Složení a homogenita byla zkoumána metodami SEM-EDX, RBS, ERDA, XRD. Optické vlastnosti pomocí UV-vid. spektroskopie a elipsometrie pod proměnlivými úhly. Možnosti krystalizace byly sledovány z teplotní závislosti.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0138419