Počet záznamů: 1  

Rare Earth Doped Gallium Nitride Fabricated by Magnetron Sputtering

  1. 1.
    0029675 - ÚJF 2006 RIV SK eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
    Prajzler, V. - Špirková, J. - Huttel, I. - Hamáček, J. - Peřina, Vratislav - Macková, Anna
    Rare Earth Doped Gallium Nitride Fabricated by Magnetron Sputtering.
    [Vzácnými zeminami dopovaný galium nitrid, připravený magnetronovým naprašováním.]
    Book of Contributes Papers. Bratislava: Institut of Physics, Slovak Akademy of Sciences, 2005 - (Hensel, K.; Matějíček, Š.; Skalný, J.; Mason, N.), s. 231-232. ISBN 80-223-2018-8.
    [Symposium on Applications of Plasma Processes /15./ and EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing /3./. Podbanské (SK), 15.01.2005-20.01.2005]
    Grant CEP: GA ČR(CZ) GA104/03/0385
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10480505
    Klíčová slova: gallium nitride * magnetron sputtering
    Kód oboru RIV: BG - Jaderná, atomová a mol. fyzika, urychlovače

    GaN layers containing Er ions are deposited by rf magnetron sputtering. The Ga2O3 target in Ar + N2 gas mixture was used for fabrication of the GaN layers. For doping erbium oxide pellets were laid on the top of the target. The properties of the fabricated layers were investigated by X-ray diffraction (XRD), Raman spektroscopy, absorption spectra and photoluminiscence spectra. The composition of the fabricated samples was determined by Rutherford Backscattering Spectroscopy (RBS).

    Vzácnými zeminami dopovaný galium nitrid byl deponován magnetronovým naprašováním. Byl použit terčík Ga2O3 ve směsi Ar + N2. Dopováno bylo pomocí tablety kysličníku erbia umístěné na povrchu terčíku. Vlastnosti vyrobených vrstev byly zkoumány metodami XRD (rentgenovská difrakce), Ramanovské spektroskopie, absorpční a fotoluminiscenční spektroskopie. Složení vrstev bylo stanoveno metodou Rutherfordského zpětného odrazu (RBS).
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0119487

     
     
Počet záznamů: 1  

  Tyto stránky využívají soubory cookies, které usnadňují jejich prohlížení. Další informace o tom jak používáme cookies.