Some mechanical properties of DLC and CN.sub.x./sub. coatings deposited by reactive sputtering or plasma-chemical techniques

0024671 - FZÚ 2006 RIV ES eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
Boháč, Petr - Kulikovsky, V. Y. - Šícha, M.
Some mechanical properties of DLC and CN_x coatings deposited by reactive sputtering or plasma-chemical techniques.
[Některé mechanické vlastnosti povlaků DLC a CN_x deponovaných reaktivním naprašováním a plasmo-chemickými metodami.]
Proceedings of the COST 516 Tribology Symposium /3./. Eibar: Fundatión TEKNIKER, 2000 - (Igartua, A.; Alberdi, A.), s. 117-125. ISBN 84-699-2557-1.
[COST 516 Tribology Symposium. Eibar (ES), 15.05.2000-19.05.2000]
Grant CEP: GA MŠMT(CZ) OC 516.50
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z1010914
Klíčová slova: amorphous films a-C, a-C:H, Ti-C:H, and CNx * mechanical and tribological properties * intrinsic stress evolution * adhesion
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech

Some results of research of mechanical and tribological proper-ties of amorphous films a-C, a-C:H, Ti-C:H, and CNx are described in this paper. Although not stoichiometric (x = N/C < 1.33) demonstrated CNx films interesting tribological properties and high hardness. It has been given attention also to intrinsic stress evolution and adhesion (delamination) of these coatings which are belonging to limiting factors to utilize them in practice

V příspěvku jsou popsány některé výsledky výzkumu mechanických a tribologických vlastností amorfních vrstev a-C, a-C:H, Ti-C:H a CNx. Ačkoliv nestechiometrické (x = N/C < 1.33) vykázaly CNx filmy zajímavé tribologické vlastnosti a vysokou tvrdost. Pozornost byla věnována též vývoji vnitřních pnutí a adhezi (resp. odlupování) těchto povlaků, která náleží k faktorům, jež omezují jejich praktické použití
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0115175