Investigation of the RF pulse modulated plasma jet system during the deposition of Pb(Zr.sub.x./sub.Ti.sub.1-x./sub.)O.sub.3./sub. thin films on polymer substrates

0023616 - FZÚ 2006 RIV CH eng J - Článek v odborném periodiku
Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Adámek, P. - Virostko, Petr - Olejníček, Jiří - Deyneka, Alexander - Jastrabík, Lubomír - Jurek, Karel - Suchaneck, G. - Guenther, M. - Gerlach, G. - Boháč, Petr
Investigation of the RF pulse modulated plasma jet system during the deposition of Pb(Zr_xTi_1-x)O₃ thin films on polymer substrates.
[Studium RF pulzně modulovaného plasma jet systému během depozice tenkých vrstev Pb(Zr_xTi_1-x)O₃ na polymerní substráty.]
Surface and Coatings Technology. Roč. 200, - (2005), s. 940-946. ISSN 0257-8972
Grant CEP: GA AV ČR(CZ) KJB1010302
Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100522
Klíčová slova: : PZT thin films * plasma jet * Langmuir probe * plasma impedance
Kód oboru RIV: BL - Fyzika plazmatu a výboje v plynech
Impakt faktor: 1.646, rok: 2005

The RF modulated plasma jet system was investigated during the deposition of Pb(Zr_xTi_1-x)O₃ (PZT) thin films on polymer substrates. PZT films were deposited simultaneously on Si and polymer substrates with Pt layer. PZT films were deposited simultaneously on Si and polymer substrates with Pt layer

Článek se zabývá studiem tryskového systému při depozici tenkých vrstev Pb(Zr_xTi_1-x)O₃ (PZT) na polymerní substráty. Vrstvy PZT byly deponovány na křemíkový a plymerní substrát s platinovou vrstvou. Ke studiu vývoje parametrů plazmatu uvnitř plazmového kanálu během modulačního cyklu byla použita Langmuirova sonda s RF kompenzací umístěná v pozici substrátu. Analýza deponovaných PZT vrstev ukázala, že jejich stechiometrie je silně závislá na energii iontů dopadajících na substrát.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0112233