Teoretické a experimentální studium vlastností Wienova filtru pro použití v rastrovacím mikroskopu s velmi nízkou energií

0022569 - ÚPT 2006 CZ cze K - Konferenční příspěvek (tuzemská konf.)
Vlček, Ivan
Teoretické a experimentální studium vlastností Wienova filtru pro použití v rastrovacím mikroskopu s velmi nízkou energií.
[Theoretical and experimental study of a Wien filter properties for using at the very-low-energy scanning electron microscope.]
PDS 2004 - Sborník prací doktorandů oboru Elektronové optiky. Brno: ÚPT AV ČR, 2005, s. 57-60. ISBN 80-239-4561-0.
[PDS 2004. Brno (CZ), 15.03.2005]
Grant CEP: GA ČR(CZ) GA202/03/1575
Klíčová slova: very low energy SEM * Wien filter * CCD detector
Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

Výsledky studia Wienova filtru jsou využity při návrhu rastrovacího mikroskopu s velmi nízkou energií elektronů. Wienův filtr slouží jako separátor primárních a signálních elektronů. Článek se také zabývá návrhem dalších částí optického systému mikroskop: objektivu, vychylovacího systému a detekční optiky.

Results of Wien filter study are employed for design of a very low-energy scanning microscope. A Wien filter serves as a separator of primary and signal electrons in this arrangement. The paper describes design of other optical parts of the microscope: objective lens, deflection system and CCD detector optics.
Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0111297