Počet záznamů: 1
Fabrication of 2D periodic structures patterned on 3D surfaces by laser lithography
- 1.
SYSNO ASEP 0483207 Druh ASEP C - Konferenční příspěvek (mezinárodní konf.) Zařazení RIV D - Článek ve sborníku Název Fabrication of 2D periodic structures patterned on 3D surfaces by laser lithography Tvůrce(i) Lettrichová, I. (SK)
Goraus, M. (SK)
Pudiš, D. (SK)
Laurencikova, A. (SK)
Novak, J. (SK)
Urbancova, P. (SK)
Varga, Marián (FZU-D) RID, ORCID
Ižák, Tibor (FZU-D) RID
Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAICelkový počet autorů 9 Zdroj.dok. Extended Abstract Book of international conference Progress in Applied Surface - SURFINT-SREN V. - Bratislava : Comenius University, 2017 / Pinčík E. - ISBN 978-80-2234411-1 Rozsah stran s. 82-83 Poč.str. 2 s. Forma vydání Tištěná - P Akce Progress in Applied Surface, Interface and Thin Film Science 2017 Datum konání 20.11.2017 - 23.11.2017 Místo konání Florence Země IT - Itálie Typ akce WRD Jazyk dok. eng - angličtina Země vyd. SK - Slovensko Klíč. slova interference laser lithography ; diamond ; GaP ; SEM ; CVD Vědní obor RIV BM - Fyzika pevných látek a magnetismus Obor OECD Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.) CEP 7AMB17AT036 GA MŠMT - Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy Institucionální podpora FZU-D - RVO:68378271 Anotace We prepared structures on two different surfaces: GaP cones grown by MOVPE and polycrystalline diamond films were deposited on Si using MWCVD. For the photoresist deposition we used technique of standard spin-coating deposition and deposition from water level. Quality of prepared structures were examined by confocal laser microscope and SEM. GaP microcones grown by MOVPE were formed on substrate and were patterned by interference laser lithography. Different 2D structures were patterned in the GaP microcones surfaces. Similar technique was used for 2D structure fabrication on diamond . Uniformity of diamond surface strongly depended on the homogeneous photoresist layer deposition which was experimentally optimized using different photoresist deposition techniques. In the next process, the selective deposition of metal nanoparticles in the patterned surface is aimed. This should lead to uniformly distributed nanostructures on 3D surfaces for plasmonic or SERS applications. Pracoviště Fyzikální ústav Kontakt Kristina Potocká, potocka@fzu.cz, Tel.: 220 318 579 Rok sběru 2018
Počet záznamů: 1