Number of the records: 1
Lineární diagnostický systém plazmové depozice pro velkoplošné procesy
- 1.
SYSNO 0390204 Title Lineární diagnostický systém plazmové depozice pro velkoplošné procesy Title Linear diagnostic system of plasma deposition for large scale processes Author(s) Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Kšírová, Petra (FZU-D) RID, ORCID
Šmíd, Jiří (FZU-D)
Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
Kment, Štěpán (FZU-D) RID, ORCIDIssue data 2012 Subspecies Functional Specimen Int.Code FS3/FZÚ/2012 Technical parameters Typ termočlánku kalorimetrické sondy-K. Základní frekvence QCM senzoru 5000,00 kHz. Frekvenční rozsah pulzního napětí pro měření iontového toku 50-400 kHz. Frekvence RF zdroje harmonického napětí pro měření iontového toku 1 MHz Funkční vzorek byl vytvořen v rámci řešení projektu TAČR TA01011740. Hlavním řešitelem projektu je firma SVCS (která má smlouvu s TAČR c. 20110108) a FZU je spoluřešitelem. Mezi FZU a SVCS je podepsána Smlouva o spolupráci, upravující podmínky spolupráce při přípravě a řešení Projektu a využití výsledků výzkumu, která je nutnou součástí řešení projektu. Odpovědným řešitelem za FZÚ je Dr. Kromka. Cislo dokumentace (i pro TACR) i inventarni cislo je totozne s internim kodem: FS3/FZÚ/2012 Economic parameters V rámci projektu TAČR byl vytvořen měřící diagnostický systém pro velkoplošné depoziční techniky. Tento systém bude součástí realizovaného vícetryskového depozičního MW systému. Owner Name Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i. Internal identification code of the product assigned by its creator, Regulation no., Smlouva o spolupráci mezi SVCS Process Inovation s.r.o. a FZU AV ČR ze dne 14.2.2011 Document Type Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor Grant TA01011740 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR) CEZ AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011) Language cze Country CZ Keywords heating flux * plasma * ion flux * deposition * thin films * deposition rate Permanent Link http://hdl.handle.net/11104/0219081
Number of the records: 1