Number of the records: 1  

Lineární diagnostický systém plazmové depozice pro velkoplošné procesy

  1. 1.
    0390204 - FZU-D 2013 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
    Hubička, Zdeněk - Čada, Martin - Kšírová, Petra - Šmíd, Jiří - Olejníček, Jiří - Kment, Štěpán
    Lineární diagnostický systém plazmové depozice pro velkoplošné procesy.
    [Linear diagnostic system of plasma deposition for large scale processes.]
    Internal code: FS3/FZÚ/2012 ; 2012
    Technical parameters: Typ termočlánku kalorimetrické sondy-K. Základní frekvence QCM senzoru 5000,00 kHz. Frekvenční rozsah pulzního napětí pro měření iontového toku 50-400 kHz. Frekvence RF zdroje harmonického napětí pro měření iontového toku 1 MHz Funkční vzorek byl vytvořen v rámci řešení projektu TAČR TA01011740. Hlavním řešitelem projektu je firma SVCS (která má smlouvu s TAČR c. 20110108) a FZU je spoluřešitelem. Mezi FZU a SVCS je podepsána Smlouva o spolupráci, upravující podmínky spolupráce při přípravě a řešení Projektu a využití výsledků výzkumu, která je nutnou součástí řešení projektu. Odpovědným řešitelem za FZÚ je Dr. Kromka. Cislo dokumentace (i pro TACR) i inventarni cislo je totozne s internim kodem: FS3/FZÚ/2012
    Economic parameters: V rámci projektu TAČR byl vytvořen měřící diagnostický systém pro velkoplošné depoziční techniky. Tento systém bude součástí realizovaného vícetryskového depozičního MW systému.
    R&D Projects: GA TA ČR TA01011740
    Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100522
    Keywords : heating flux * plasma * ion flux * deposition * thin films * deposition rate
    Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics

    Byl realizován lineární měřící systém depozičního plazmového procesu pro velkoplošné procesy. Ten umožnil měřit prostorovou distribuci tepelného toku, iontového toku a depoziční rychlosti

    Linear diagnostic system of the plasma deposition process for large scale depositions was developed. This system is capable to measure spatial distribution of heating flux, ion flux and deposition rate.
    Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0219081