Number of the records: 1
Hybridní a modulární mikrovlnný plazmatický depoziční systém s povrchovou vlnou a uspořádáním plazmatických kanálů PLASMASTR01
- 1.
SYSNO 0371302 Title Hybridní a modulární mikrovlnný plazmatický depoziční systém s povrchovou vlnou a uspořádáním plazmatických kanálů PLASMASTR01 Title Hybrid and modular microwave plasmatic deposition system with surface wave and arranged plasma jets PLASMASTR01 Author(s) Šmíd, Jiří (FZU-D)
Hubička, Zdeněk (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Straňák, Vítězslav (FZU-D) RID, ORCID
Churpita, Olexandr (FZU-D) RID, ORCID
Čada, Martin (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Jastrabík, Lubomír (FZU-D) RID, ORCID
Olejníček, Jiří (FZU-D) RID, ORCID
Babchenko, Oleg (FZU-D) RID, ORCID
Kromka, Alexander (FZU-D) RID, ORCID, SAI
Potocký, Štěpán (FZU-D) RID, ORCID
Lukašík, P. (CZ)
Piják, A. (CZ)
Dolák, J. (CZ)
Martinek, P. (CZ)
Pitrun, J. (CZ)
Rek, Š. (CZ)
Konečný, L. (CZ)
Mareš, G. (CZ)
Štepánek, J. (CZ)
Jakeš, J. (CZ)
Křenek, Z. (CZ)
Joštic, M. (CZ)Issue data 2011 Subspecies Functional Specimen Int.Code PST1/FZÚ-SVCS/2011 Technical parameters Vnější průměr použité trubky surfatronu: 8 mm; Mikrovlnný zdroj: Sairem GMP150 max. výkon 1200W; Surfatron: Sairem SURFATRON 80 max. výkon 300W; Frekvenční pásmo: MW 2450 MHz; Pulzní modulace: 3Hz-1kH Economic parameters Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum Owner Name 50% Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., 50% SVCS Process Innovation s.r.o. Document Type Prototyp, metodika, f.vzorek, aut.software, apl.výzkum-normy, u.vzor Grant TA01011740 GA TA ČR - Technology Agency of the Czech Republic (TA ČR) CEZ AV0Z10100522 - FZU-D (2005-2011) Language cze Country CZ Keywords microwave * surfatron * thin films * plasma * deposition * plasma jet * surface wave Permanent Link http://hdl.handle.net/11104/0204848
Number of the records: 1