Number of the records: 1  

Hybridní a modulární mikrovlnný plazmatický depoziční systém s povrchovou vlnou a uspořádáním plazmatických kanálů PLASMASTR01

  1. 1.
    0371302 - FZU-D 2012 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
    Šmíd, Jiří - Hubička, Zdeněk - Straňák, Vítězslav - Churpita, Olexandr - Čada, Martin - Jastrabík, Lubomír - Olejníček, Jiří - Babchenko, Oleg - Kromka, Alexander - Potocký, Štěpán - Lukašík, P. - Piják, A. - Dolák, J. - Martinek, P. - Pitrun, J. - Rek, Š. - Konečný, L. - Mareš, G. - Štepánek, J. - Jakeš, J. - Křenek, Z. - Joštic, M.
    Hybridní a modulární mikrovlnný plazmatický depoziční systém s povrchovou vlnou a uspořádáním plazmatických kanálů PLASMASTR01.
    [Hybrid and modular microwave plasmatic deposition system with surface wave and arranged plasma jets PLASMASTR01.]
    Internal code: PST1/FZÚ-SVCS/2011 ; 2011
    Technical parameters: Vnější průměr použité trubky surfatronu: 8 mm; Mikrovlnný zdroj: Sairem GMP150 max. výkon 1200W; Surfatron: Sairem SURFATRON 80 max. výkon 300W; Frekvenční pásmo: MW 2450 MHz; Pulzní modulace: 3Hz-1kH
    Economic parameters: Laboratorní zařízení nezbytné pro další aplikovaný výzkum
    R&D Projects: GA TA ČR TA01011740
    Institutional research plan: CEZ:AV0Z10100522
    Keywords : microwave * surfatron * thin films * plasma * deposition * plasma jet * surface wave
    Subject RIV: BL - Plasma and Gas Discharge Physics

    V rámci řešení projektu TAČR jsme vyvinuli hybridní a modulární plazmatický zdroj se systémem plazmatických kanálů generovaných povrchovou elektromagnetickou vlnou.

    Hybrid and modular plasma source with system of plasma jets generated by electromagnetic surface wave was developed in frame of grant TACR.
    Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0204848