Funkční vzorek antivirálního povlaku CuFeO.sub.2./sub.

0537054 - FZÚ 2021 RIV CZ cze L - Prototype, f. module
Hrubantová, Aneta - Štěrba, J. - Mašková, H. - Olejníček, Jiří - Straňák, Vítězslav - Hubička, Zdeněk
Funkční vzorek antivirálního povlaku CuFeO₂.
[Functional sample of antiviral thin film CuFeO₂.]
Internal code: FVNCK1/FZU-JU/2020 ; 2020
Technical parameters: doba depozice 1 h, průtok argonu QAr= 26 sccm, průtok kyslíku QO2= 2 sccm, pracovní tlak p = 2 Pa
Economic parameters: Antivirální tenké vrstvy CuFeO2 byly deponovány pomocí RF magnetronového naprašování. Tato technologie je aplokovatelná v průmyslu a bude nabídnuta průmyslovému partnerovi.
R&D Projects: GA TA ČR TN01000038
Institutional support: RVO:68378271
Keywords : antiviral films * RF sputtering * delafossite * magnetron
OECD category: Materials engineering

Antivirální vrstvy CuFeO2 byly deponovány pomocí RF reaktivního magnetronového naprašování v Ar+O2 směsi plynů. Byl použit keramický terč CuFeO2 o průměru 50 mm. Substrát byl ohříván při depozici na teplotu 450 oC. U vrstev deponovaných na Si/SiO2 byly prokázány antivirální účinky na viru COVID 19.

Antivirální vrstvy CuFeO2 byly deponovány pomocí RF reaktivního magnetronového naprašování v Ar+O2 směsi plynů. Byl použit keramický terč CuFeO2 o průměru 50 mm. Substrát byl ohříván při depozici na teplotu 450 oC. U vrstev deponovaných na Si/SiO2 byly prokázány antivirální účinky na viru COVID 19.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0314806