Metody detekce středu interferenčního proužku v interferometrii nízké koherence

0431815 - ÚPT 2015 RIV CZ cze J - Journal Article
Pikálek, Tomáš - Fořt, Tomáš - Buchta, Zdeněk
Metody detekce středu interferenčního proužku v interferometrii nízké koherence.
[Interference fringe center detection techniques in low-coherence interferometry.]
Jemná mechanika a optika. Roč. 59, č. 8 (2014), s. 220-223. ISSN 0447-6441
R&D Projects: GA MŠMT(CZ) LO1212; GA MŠMT ED0017/01/01
Institutional support: RVO:68081731
Keywords : low-coherence interferometry * interference fringe center detection techniques * surface analysis
Subject RIV: BH - Optics, Masers, Lasers

Článek se zabývá metodami detekce středu interferenčního proužku v interferometrii nízké koherence se zaměřením na aplikaci při analýze profilu povrchů. Ukazuje vliv těchto metod na měření profilu povrchů a porovnává je z hlediska výpočetní náročnosti, přesnosti detekce profilu povrchu a odolnosti vůči neoptimální kompenzaci disperze v případě použití klínových optických komponent.

This paper deals with interference fringe center detection techniques used in low-coherence interferometry for contactless surface analysis. It presents a complex analysis of the experimental data processed by using of four different techniques. The analysis compares those techniques in terms of computational complexity, measurement accuracy and resistance to optical dispersion caused by wedge-shaped optical components.
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0236369