Examination of electronic structures and materials in scanning low energy electron microscope (SLEEM)

0100019 - UPT-D 20040019 RIV CZ eng C - Conference Paper (international conference)
Müllerová, Ilona - Frank, Luděk
Examination of electronic structures and materials in scanning low energy electron microscope (SLEEM).
[Zkoumání elektronických struktur a materiálů v rastrovacím nízko-energiovém elektronovém mikroskopu (SLEEM).]
Proceedings of the International Conference NANO'03. Praha: ČSNMT, 2003, s. 87-92. ISBN 80-214-2527-X.
[NANO'03 International Conference. Brno (CZ), 21.09.2003-23.09.2003]
R&D Projects: GA AV ČR IAA1065304
Keywords : SLEEM * electronic structures of the specimen * image resolutions
Subject RIV: JA - Electronics ; Optoelectronics, Electrical Engineering

The SLEEM mode, available via moderate adaptation to a conventional SEM, is capable of providing the image resolution nearly constant over the full energy range from the primary beam energy down to even fractions of eV. In this way, one can enter multiple novel contrast mechanisms, directly visualizing details of crystallinic and electronic structure of the specimen, which are particularly important in development and diagnostics of nano-structured materials and devices

Režim SLEEM, který je v běžném SEM k dispozici po menší adaptaci, umožňuje dosažení téměř konstantního obrazového rozlišení v celém energiovém rozsahu od energie primárních elektronů až do zlomku eV. Takto je možné studovat mnoho nových kontrastních mechanizmů přímo zviditelňujících detaily krystalických a elektronických struktur vzorku, které jsou důležité zejména ve vývoji a diagnostice nano-strukturních materiálů a prvků
Permanent Link: http://hdl.handle.net/11104/0007526