Počet záznamů: 1

Education and research at clean room laboratory for silicon device technology at Masaryk University

  1. 1.
    0352495 - UPT-D 2011 RIV CZ eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
    Mikulík, P. - Humlíček, J. - Kulha, P. - Hovorka, Miloš - Kadlec, Filip
    Education and research at clean room laboratory for silicon device technology at Masaryk University.
    12th Scientific and Business Conference SILICON 2010. Rožnov pod Radhoštěm: TECON Scientific s.r.o, 2010, s. 455-456. ISBN 978-80-254-7361-0.
    [SILICON 2010 /12./. Rožnov pod Radhoštěm (CZ), 02.11.2010-05.11.2010]
    Grant CEP: GA AV ČR(CZ) IAA100100907
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511; CEZ:AV0Z10100520
    Klíčová slova: clean room * microelectronic * silicon device technology
    Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

    We present education and research at university clean room microelectronics laboratory for silicon device technology opened at Masaryk University in 2007. T
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0191990