Počet záznamů: 1

Modification of the Schottky FE ZrO/W electron emitter

  1. 1.
    0352423 - UPT-D 2011 RIV BR eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
    Matějka, František - Horáček, Miroslav - Kolařík, Vladimír - Král, Stanislav
    Modification of the Schottky FE ZrO/W electron emitter.
    Proceedings of the 17th IFSM International Microscopy Congress. Rio de Janeiro: Sociedade Brasileira de Microscopia e Microanilise, 2010, I1.12: 1-2. ISBN 978-85-63273-06-2.
    [International Microscopy Congress (IMC17) /17./. Rio de Janeiro (BR), 19.09.2010-24.09.2010]
    Grant CEP: GA AV ČR IAA100650803; GA MPO FR-TI1/576; GA MŠk ED0017/01/01
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z20650511
    Klíčová slova: e-beam writing system * rectangular-shaped electron beam * point projection
    Kód oboru RIV: JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

    A Schottky electron emitter with a layer of ZrOx is used in our e-beam writing system working with a rectangular-shaped electron beam. The low radius of the tip less than 300 nm is necessary for the proper function of the electron-optical system based on the principle of point projection.
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0191931