Počet záznamů: 1

Selective area deposition of diamond structures

  1. 1.
    0339576 - FZU-D 2010 RIV SK eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
    Babchenko, Oleg - Kromka, Alexander - Hruška, Karel - Vaněček, Milan
    Selective area deposition of diamond structures.
    Proceedings of the 15th International Conference on Applied Physics of Condensed Matter. Zilina: University of Zilina, 2009 - (Pudiš, J.; Harmatha, L.; Müllerová, J.; Jamnický, I.), 251-255. ISBN 978-80-554-0057-0.
    [International Conference on Applied Physics of Condensed Matter /15./ (APCOM 2009). Bystrá, Liptovský Ján (SK), 24.06.2009-26.06.2009]
    Grant CEP: GA AV ČR KAN400100701; GA MŠk LC510
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100521
    Klíčová slova: selective area deposition * plasma etching * polymer mask
    Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

    The report is about selective area deposition of diamond structures after the reactive ion etching and using a photo-resist as mask.
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0183063