Počet záznamů: 1

Deposition of PZT thin films on copper-coated polymer foils

  1. 1.
    0337271 - FZU-D 2010 RIV US eng C - Konferenční příspěvek (zahraniční konf.)
    Suchaneck, G. - Hubička, Zdeněk - Jastrabík, Lubomír - Dejneka, Alexandr - Kiselev, D. - Bdikin, I. - Kholkin, A. - Gerlach, G.
    Deposition of PZT thin films on copper-coated polymer foils.
    [Depozice PZT tenkých vrstev na poměděné polymerové folie.]
    Relability and Properties of Electronic Devices on Flexible Substrates (Simposium I at the 2008 MRS Fall Meeting). Warrendale, PA: MRS, 2009 - (Greer, J.; Vlassak, J.; Daniel, J.; Tsui, T.), I0305/1-I0305/2. Materials Research Society Symposium Proceedings, 1116. ISBN 9781615673834.
    [Materials Research Society Fall Meeting. Boston (US), 01.12.2008-05.12.2008]
    Grant CEP: GA ČR GA202/08/1009; GA AV ČR KJB100100703
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100522
    Klíčová slova: PZT on polymer-foils * RF-modulated plasma jet system
    Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
    http://www.proceedings.com/06086.html

    In this work, we investigate the deposition of Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) thin films directly onto copper-coated polymer foils. (111)-textured PZT was fabricated on these flexible substrates by means of a RF-modulated plasma jet system comprising a hollow cathode for reactive sputtering. Film composition and microstructure as well as piezoelectric and dielectric film properties were investigated. The deposited films are suitable as embedded capacitors as well as flexible piezoelectric sensors, actuators and power generators.

    Byly zkoumány možnosti depozice vrstev Pb(Zn,TiO3) (PZT) přímo na poměděné polymerní folii.(111)-texturované vrstvy PZT se nanášely na tyto flexibilní substráty pomocí RF-modulovaného plasma-jet systému s dutou katodou. Také bylo zkoumáno složení vrstev a jejich mikrostruktura, dielektrické a piezoelektrické vlastnosti. Bylo zjištěno, že takto připravené vrstvy jsou vhodné pro použití v moderní flexoelektronice.
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0181303