Počet záznamů: 1

Piezoelectric PZT thin films on flexible copper-coated polymer films

  1. 1.
    0336533 - FZU-D 2010 RIV CH eng J - Článek v odborném periodiku
    Suchaneck, G. - Volkonskiy, O. - Gerlach, G. - Hubička, Zdeněk - Dejneka, Alexandr - Jastrabík, Lubomír - Kiselev, D. - Bdikin, I. - Kholkin, A.
    Piezoelectric PZT thin films on flexible copper-coated polymer films.
    [Piezoelektrické tenké vrstvy PZT na flexibilních mědí pokrytých polymerních foliích.]
    Materials Science Forum. 636/637, - (2010), s. 392-397 ISSN 0255-5476
    Grant CEP: GA ČR GC202/09/J017; GA AV ČR KJB100100703
    Výzkumný záměr: CEZ:AV0Z10100522
    Klíčová slova: plasma jet deposition * PZT * kapton® film substrate * piezoresponse force microscopy
    Kód oboru RIV: BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

    This work analyzes the processing of Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) thin films directly on copper-coated polymer films. PZT thin film deposition was performed onto the metallized Kapton® films using a single RF plasma jet. In order to reduce the interaction of PZT and Cu during the initial growth stage, an ultrathin amorphous TiOx seeding layer was sputter-deposited prior to PZT deposition.Topography and piezoelectric response of the films were evaluated using a commercial AFM adapted for piezoforce measurements.The as-deposited films were self-polarized with a piezoelectric hysteresis.

    V práci je analyzován postup přípravy Pb(Zr,Ti)O3 (PZT) tenkých vrstev přímo na polymerní fólie pokryté mědí.S využitím technologie RF plazmové trysky byly deponovány vrstvy PZT na metalizované kaptonové fólie.Z důvodů omezení vzájemné interakce mezi PZT a Cu v počátečním stadiu růstu , byla před vlastním procesem depozice PZT naprášena ultratenká zárodečná vrstva amorfního TiOx.Pro určování topografie a piezoelektrické odezvy připravovaných vrstev byl využit komerční AFM adaptovaný pro piezoelektrická měření.Deponované vrstvy byly "samopolarizované" a vykazovaly piezoelektrickou hysterezi.
    Trvalý link: http://hdl.handle.net/11104/0180745