Nanometrology Interferometric System for Local Probe Microscopy

Hrabina Jan



Název
Nanometrology Interferometric System for Local Probe Microscopy
Autor
lupa Hrabina Jan UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Lazar Josef UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Číp Ondřej UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Klapetek P.
Zdroj.dok.
lupa Proceedings of the 20th IMEKO TC2 Symposium on Photonics in Measurement. S. 17-20. - Aachen : Shaker Verlag, 2011
Vyd.údaje
4 s.
Druh dok.
C
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
DE
Klíč.slova
atomic force microscopy (AFM) * nanometrology * nanopositioning interferometry * nanoscale * iodine cells * spectroscopy
Databáze
zc - Konferenční příspěvek (zahraniční konference)
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0202571