AFM nanometrology interferometric system with the compensation of angle errors

Hrabina Jan



Název
AFM nanometrology interferometric system with the compensation of angle errors
Autor
lupa Hrabina Jan UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Lazar Josef UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Klapetek P.
lupa Číp Ondřej UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa Optical Measurement Systems for Industrial Inspection VII (Proceedings of SPIE Vol. 8082). 80823U:1-6. - Bellingham : SPIE, 2011
Vyd.údaje
6 s.
Druh dok.
C
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
US
Klíč.slova
atomic force microscopy (AFM) * nanometrology * nanoscale * nanopositioning * interferometry * abbe errors
Databáze
zc - Konferenční příspěvek (zahraniční konference)
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0202169