Mapping of dopants in silicon by injection of electrons

Hovorka Miloš



Název
Mapping of dopants in silicon by injection of electrons
Autor
lupa Hovorka Miloš UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Konvalina Ivo UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Frank Luděk UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Mikulík P.
Zdroj.dok.
lupa MC 2011 - Microscopy Conference Kiel. IM7.P198:1-2. - Kiel : DGE, 2011
Vyd.údaje
2 s.
Druh dok.
C
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
DE
Klíč.slova
dopant * silicon * scanning electron microscopy
Databáze
zc - Konferenční příspěvek (zahraniční konference)
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0202020