Multidimensional interferometric tool for the local probe microscopy nanometrology

Hrabina Jan



Název
Multidimensional interferometric tool for the local probe microscopy nanometrology
Autor
lupa Hrabina Jan UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Lazar Josef UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Klapetek P.
lupa Číp Ondřej UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa Measurement Science and Technology. Roč. 22, č. 9 (2011), 094030:1-8
Vyd.údaje
8 s.
Druh dok.
J
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
GB
Klíč.slova
atomic force microscopy (AFM) * nanometrology * nanopositioning interferometry * nanoscale
Databáze
zj - Článek v odborném časopise
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0201133