FIB Induced Damage Examined with the Low Energy SEM

Mikmeková Šárka



Název
FIB Induced Damage Examined with the Low Energy SEM
Autor
lupa Mikmeková Šárka UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Spoluautoři
lupa Matsuda K.
lupa Watanabe K.
lupa Ikeno S.
lupa Müllerová Ilona UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
lupa Frank Luděk UPT-D - Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Zdroj.dok.
lupa Materials Transactions. Roč. 52, č. 3 (2011), s. 292-296
Vyd.údaje
5 s.
Druh dok.
J
Jazyk dok.
eng
Země vyd.
JP
Klíč.slova
scanning low energy electron microscopy * focused ion beam * beam induced damage * sputtering
Databáze
zj - Článek v odborném časopise
Trvalý link
http://hdl.handle.net/11104/0201068